化学名称/ 传感器

传感器零件编号

标称范围

单位

3MS

三甲硅烷

9602-6210

0…

20 0

ppm

AsH3

砷化三氢 (3 El.)

9602-6001

0…

1 00

ppm

AsH3

砷化三氢 (2 El.)

9602-6000

0…

1 00

ppm

AsH3

砷化三氢 (2 El.)

9602-6002

0…

100

ppm

B2H5

硼乙烷

9602-6200

0…

1.00

ppm

B;2

溴

9602-6800

0…

5.00

ppm

C4F5

全氟丁二烯

9602-9732

0…

50 0

ppm

C5FB

八氟环戊烯

9602-9730

0…

20 0

ppm

CH3F

甲基氟

9602-9720

0…

0.500

% vol

Ct2

氯气

9602-5300

0…

5.00

ppm

CfF3

三氟化氯

9602-7410

0…

1 00

ppm

CI02

二氧化氯

9602-7400

0…

1 00

ppm

CO

一氧化碳

9602-5400

0…

500

ppm

COCI2

光气

9602-6600

0…

1 00

ppm

DCE1,2

氟

9602-9600

0…

1000

ppm

F2

Fluorine

9602-6400

0…

5.00

ppm

F2

氟

9602-6401

0…

30

ppm

GeH4

锗烷

9602-6900

0…

5.0

ppm

H2

氢气 (1 %)

9602-5100

0…

1 000

% vol

H2

氢气 (4 %)

9602-5101

0…

4 00

% vo!

H25

硫化氢

9602-5200

0…

100

ppm

H2S

硫化氢 (有机.)

9602-5201

0…

30 0

ppm

H2Se

硒化二氢

9602-5600

0…

1 00

ppm

HBr

溴化氢

9602-7000

0…

30 0

ppm

HCI

氯化氢

9602-5800

0…

30 0

ppm

HCI

氯化氢(tropic)

9602-5801

0…

30.0

ppm

HCN

氰化氢

9602-5700

0…

30 0

ppm

HF

氟化氢

9602-6500

0…

100

ppm

HMDS

六甲基二硅氮烷

9602-6714

0…

500

ppm

HMDS

六甲基二硅氮烷

9602-6715

0…

0 500

% vol

N2H4

联氨

9602-7600

0…

1 00

ppm

NFS

三氟化氮

9602-9700

0…

50 0

ppm

NH3

氨 (100 ppm)

9602-6704

0…

100

ppm

NH3

氨 (1000 ppm)

9602-6705

0…

1000

ppm

NO

一氧化氮

9602-7200

0…

250

ppm

NO2

二氧化氮

9602-7300

0…

25 0

ppm

02

氧气

9602-5500

0…

25.0

% vol

03

臭氧

9602-7100

0…

1 00

ppm

03

臭氧

9602-7101

0…

1 00

ppm