日本新宇宙气体检测报警器cosmos xps-7 XPS-7II 原装正品

检测对象 毒气/半导体材料气体
检测范围 根据规格而定
检测原理 定电位电解式
检测方式 自动吸引式
应用行业 石油化工、半导体制造

产品描述：半导体材料气体检测
01.产品特点
●  只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
●  用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
●  可以大幅度削减成本和维护时间

02.产品用途
●  半导体工厂/石油化学工厂等
●  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

特点： 
只要更换传感器单元就可以检测对象气体，
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
• 适带有气体采样流量自动控制功能 
• LCD显示，现场状态一目了然 
• 实现小型、轻量化 
• 可简单地更换传感器和采样气路 
• 带有防止传感器单元错误插入的功能 
• 可以设定多样的维护模式 
• 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等 
• 实现了用PDA读取数据 
• 符合CE规格，SEMI规格 

使用电源 DC24V±10%
消耗电力 约7w
尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)
                •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
重量 约1.0kg
安装方法 壁挂式
检测原理 定电位电解式、热线型半导体式、隔膜电流电池式
采样方式 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制） 
采样配管 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 
气体浓度显示 液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图 


型号 气体 F.S 型号 气体 F.S 型号 气体 F.S
PS-7NH NH3 200ppm PS-7GH GeH4 1ppm PS-7HS H2S 50ppm
PS-7SH SiH4 25ppm PS-7CL CL2 5ppm PS-7CO CO 250ppm
PS-7DC SiHCL3 25ppm PS-7CF CLF3 1ppm PS-7DS Si2H6 25ppm
PS-7AS AsH3 250ppb PS-7HC HCL 25ppm PS-7F2 F2 5ppm
PS-7PH PH3 1ppm PS-7HF HF 1ppm PS-7OZ O3 1ppm
PS-7BH B2H6 500ppb PS-7HF BF3 1PPM PS-7NO NO 100ppm
PS-7SE H2Se 250ppb PS-7HB HBr 10ppm PS-7NF NF3 100ppm

毒性气体传感器组件 ：CDS-7
可燃性气体传感器组件 ：CHS-7
氧气传感器组件 ：COS-7
氧气传感器组件：COS-7