Date:2022-7-6 Hits:1203
COSMOS日本新宇宙XPS-7II 便携式硅烷气体检测仪 原装正品
日本新宇宙气体检测报警器 cosmos XPS-7II XPS-7
检测对象 毒气/半导体材料气体
检测范围 根据规格而定
检测原理 定电位电解式
检测方式 自动吸引式
应用行业 石油化工、半导体制造
产品描述:半导体材料气体检测
01.产品特点
● 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
● 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
● 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
特点:
只要更换传感器单元就可以检测对象气体,
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
•适带有气体采样流量自动控制功能
•LCD显示,现场状态一目了然
•实现小型、轻量化
•可简单地更换传感器和采样气路
•带有防止传感器单元错误插入的功能
•可以设定多样的维护模式
•组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等
•实现了用PDA读取数据
•符合CE规格,SEMI规格
使用电源 DC24V±10%
消耗电力 约7w
尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
重量 约1.0kg
安装方法 壁挂式
检测原理 定电位电解式、热线型半导体式、隔膜电流电池式
采样方式 泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制)
采样配管 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内
气体浓度显示 液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图
型号 气体 F.S 型号 气体 F.S 型号 气体 F.S
PS-7NH NH3 200ppm PS-7GH GeH4 1ppm PS-7HS H2S 50ppm
PS-7SH SiH4 25ppm PS-7CL CL2 5ppm PS-7CO CO 250ppm
PS-7DC SiHCL3 25ppm PS-7CF CLF3 1ppm PS-7DS Si2H6 25ppm
PS-7AS AsH3 250ppb PS-7HC HCL 25ppm PS-7F2 F2 5ppm
PS-7PH PH3 1ppm PS-7HF HF 1ppm PS-7OZ O3 1ppm
PS-7BH B2H6 500ppb PS-7HF BF3 1PPM PS-7NO NO 100ppm
PS-7SE H2Se 250ppb PS-7HB HBr 10ppm PS-7NF NF3 100ppm
毒性气体传感器组件 :CDS-7
可燃性气体传感器组件 :CHS-7
氧气传感器组件 :COS-7
氧气传感器组件:COS-7