Date:2022-6-28 Hits:1659
日本新宇宙COSMOS XP-703DIII气体检测仪 原装进口
检测对象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
应用行业 半导体制造
产品描述:半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● 适合氢气相关设备的安全防护
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
检测对象气体:半导体材料气体 AsH3砷烷 PH3磷化氢 B2H6乙硼烷 SiH4硅烷 H2氢气
反应时间:10秒以内 探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为4
报警方式:发出断断续续的声音及报警灯闪烁
电源 5号碱性干电池(LR6)2节
连续使用时间:约12小时(5号碱性干电池)在常温·常湿条件下
保护等级:IP22 相当*3
使用压力范围: 大气压800~1100hpa
使用温湿度范围 0°C~40°C 85%RH以下(无结露现象)
外形尺寸: W38*H130*D32mm(突出部分除外)
重量:约190g(包含电池、皮套)
标配附件:皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等
检测对象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
应用行业 半导体制造
产品描述:半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● 适合氢气相关设备的安全防护
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
检测对象气体:半导体材料气体 AsH3砷烷 PH3磷化氢 B2H6乙硼烷 SiH4硅烷 H2氢气
反应时间:10秒以内 探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为4
报警方式:发出断断续续的声音及报警灯闪烁
电源 5号碱性干电池(LR6)2节
连续使用时间:约12小时(5号碱性干电池)在常温·常湿条件下
保护等级:IP22 相当*3
使用压力范围: 大气压800~1100hpa
使用温湿度范围 0°C~40°C 85%RH以下(无结露现象)
外形尺寸: W38*H130*D32mm(突出部分除外)
重量:约190g(包含电池、皮套)
标配附件:皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等